| 发明名称 | 一种石英加热装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种石英加热装置，包括石英内胆、远红外辐射体、氧化铝陶瓷涂层、气凝胶毡层，其中所述石英内胆内设有测温线，所述测温线的外部设有绝缘管，所述测温线的一端由绝缘管封闭，另一端与温度仪表相连接，所述远红外辐射体设于石英内胆的外部，所述氧化铝陶瓷涂层设于远红外辐射体与气凝胶毡层之间。本实用新型所述的一种石英加热装置，加热方式环保、无污染，温度可控，安全系数高，提高了硅片的洁净度，硅片的成品率大大提高。 | ||
| 申请公布号 | CN205305136U | 申请公布日期 | 2016.06.08 |
| 申请号 | CN201521141550.1 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 天津天物金佰微电子有限公司 | 发明人 | 房利 |
| 分类号 | H05B3/10(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人 | 刘莹 |
| 主权项 | 一种石英加热装置，其特征在于：包括石英内胆(1)、远红外辐射体(3)、氧化铝陶瓷涂层(4)、气凝胶毡层(5)，其中所述石英内胆(1)内设有测温线(7)，所述测温线(7)的外部设有绝缘管(6)，所述测温线(7)的一端由绝缘管(6)封闭，另一端与温度仪表(8)相连接，所述远红外辐射体(3)设于石英内胆(1)的外部，所述氧化铝陶瓷涂层(4)设于远红外辐射体(3)与气凝胶毡层(5)之间。 | ||
| 地址 | 300385 天津市西青区西青经济技术开发区赛达工业园5号厂房 | ||