| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren (300) zum Herstellen einer chemisch sensitiven Schicht (104) für einen Gassensor (100), wobei das Verfahren (300) einen Schritt des Erzeugens (302) einer Verbundschicht (200) aus zumindest einem Edelmetall (202), einem kohlenstoffbasierten Füllmaterial (204) und einem metallbasierten Stabilisationsmaterial (206) aufweist, wobei das Edelmetall (202) eine nanokristalline Struktur aufweist. Ferner umfasst das Verfahren (300) einen Schritt des Erhitzens (304) der Verbundschicht (200) in sauerstoffhaltiger Atmosphäre, um die chemisch sensitive Schicht (104) zu bilden, wobei das Füllmaterial (204) durch Oxidation zumindest teilweise entfernt wird und das Stabilisationsmaterial (206) zu einer Metalloxidhülle (106) zum Stabilisieren der nanokristallinen Struktur oxidiert wird. |
