Vakuumpumpenanordnung und Vakuumkammeranordnung

摘要

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumpumpenanordnung bereitgestellt, welche eine Turbomolekularpumpe (102) mit einem drehbar gelagerten Rotor; und ein Abdeckelement (104) aufweisen kann, welches in einem Abstand (105) zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor und dem Abdeckelement (104) ein Gasseparationsspalt (106) gebildet ist.