摘要 |
被処理材料に対して光輝処理などの熱処理を高精度かつ効率的に、また容易かつ安全に制御することが可能な熱処理方法および熱処理装置、並びに熱処理システムを提供する。熱処理炉は炉内構造物がグラファイトで製造され、被処理材料を熱処理する加熱処理室を有しており、各センサからのセンサ情報を参照してΔG0(標準生成ギブスエネルギー)を演算し、表示装置331にエリンガム図と管理範囲及びΔG0で表される運転中の熱処理炉の状態を表示するとともに、ΔG0が管理範囲内に入るように、制御部334により雰囲気ガスとしての中性ガス又は不活性ガスの流量またはガスの流速を制御する。 |