ヘリウムガス分離材及びその製造方法

摘要

このヘリウム分離材は、基部と、基部と接合されたガス分離部を含む。基部は、連通孔の平均径が５０ｎｍ〜１，０００ｎｍのα−アルミナ多孔質体からなり、ガス分離部は、Ｎｉ元素を含むγ−アルミナ多孔質部と、この多孔質部における連通孔の内壁に配されたシリカ膜部とを有し、このシリカ膜部により包囲形成される細孔の平均径は０．２７ｎｍ〜０．６０ｎｍである。