| 发明名称 |
電気回路および薄膜熱構造に関するカーボンナノチューブ・シート材料をエッチングする方法 |
| 摘要 |
電気回路および薄膜熱構造に関するカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）シート材料をエッチングするための方法に関する。方法は、導電性ＣＮＴ材料のシート上にマスクを形成するステップと、ＣＮＴ材料のマスクされていない部分を電気化学的に除去するステップと、を有する。 |
| 申请公布号 |
JP2016516299(A) |
申请公布日期 |
2016.06.02 |
| 申请号 |
JP20160500084 |
申请日期 |
2013.06.25 |
| 申请人 |
レイセオン カンパニー |
发明人 |
チョウ，ジェームズ・アール;タウンセンド，カール・ダブリュー |
| 分类号 |
H01L21/3063;C01B31/02;H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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