| 摘要 |
Die Lokalisierung von Hotspots in einem vielschichtigen Bauteil unter Test (DUT) unter Verwendung von Lockin-Thermographie (LIT), wobei eine Vielzahl von Hotspats von elektrischen Schaltungen in dem DUT an unterschiedlichen Tiefenschichten von einer unteren Schicht zu einer oberen Schicht vergraben sind, umfasst das Anlegen von Testsignalen mit mehreren Frequenzen an die elektrischen Schaltungen des DUT, um die Hotspots anzuregen, Abbilden einer oberen Oberfläche der oberen Schicht des DUT an zeitgesteuerten Intervallen, um IR-Bilder des DUT zu erhalten, während das Testsignal an die elektrischen Schaltungen angelegt ist, wobei die Bilder in Korrelation zu der Fortpflanzung der Wärme von den Hotspots in dem DUT steht, Detektieren der thermischen Antwortsignale an den zeitgesteuerten Intervallen aus den Bildern, die von dem DUT genommen wurden, und Bestimmen von Änderungen in dem Aussehen der Hotspot-Bilder auf der oberen Oberfläche des DUT in Relation zu den Frequenzen der thermischen Antwortsignale. |
