| 摘要 |
本発明は、下記式（Ｉ）で表されるブロック及び下記式（ＩＩ）で表されるブロックを含むブロック共重合体を含有するパターン形成用組成物である。下記式（Ｉ）及び（ＩＩ）中、Ｒ１及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子、メチル基、フッ素原子又はトリフルオロメチル基である。Ｒ２は、１価の有機基である。Ｒ４は、炭素数１〜５の（１＋ｂ）価の炭化水素基である。Ｒ５は、ヘテロ原子を有する１価の基である。ｍ及びｎは、それぞれ独立して、１０〜５，０００の整数である。ａは、０〜５の整数である。ｂは、１〜３の整数である。 |
