ENERGY HARVESTING DEVICE USING A EXHALED BREATH AND FABRICATING METHOD THEREOF
摘要
실시 형태에 따른 날숨을 이용하는 에너지 수확 소자는, 기판; 상기 기판 상 일부분에 배치된 하부전극; 상기 기판과 상기 하부전극 상에 배치된 절연층; 상기 절연층 상에 배치되고, 상기 하부전극 상에 위치하지 않는 상부전극; 및 상기 상부전극 상 및 상기 하부전극 상에 배치된 댐;을 포함하고, 상기 하부전극은 일부가 노출된다.