集積型アパーチャ付きマイクロミラー、及びその応用

摘要

リソグラフィ及び深掘りエッチングの技術を用いて基板上に作製されたマイクロ光ベンチと共にモノリシック集積された、アパーチャ付きマイクロミラーが提供される。前記マイクロミラーは、アパーチャを備え、前記基板の面に沿った光軸を持つ入射ビームを受信して、前記入射ビームを前記アパーチャを介して少なくとも部分的に透過させるように、光学的に結合されている。