| 摘要 |
コーティングされたシリンダライナ２０は、ＤＬＣコーティングのような耐摩耗性層２２と、その内面２６上に堆積されたクロムまたはチタンのような金属の接着層２４を備える。層２２、２４はそれぞれ、内面２６の長さの少なくとも７０％に沿って５％以下だけ異なる厚さｔＷ、ｔａを有する。金属の接着層２４は、内面２６に消耗可能な金属電極２８をスパッタリングすることにより堆積される。スパッタリングは磁気スパッタリングであることができる。消耗可能な金属電極２８は、堆積チャンバ５２内にキャリアガスを提供するためのオリフィス５０を有する中空の開口４０を含むことができ、また、シリンダライナ２０の内面２６は、シリンダライナ２０の第１の開口部３６および第２の開口部３８を封止することによって、堆積チャンバ５２を提供することができる。 |
