| 摘要 |
(과제) 처리 용기 내의 처리 공간에 접하는 석영제의 부재의 표면에 대한 카본막의 밀착성을 향상시켜 파티클의 발생을 억제할 수 있는 성막 장치의 운용 방법을 제공한다. (해결 수단) 석영제의 처리 용기(8) 내에서 보유지지(保持) 수단(22)에 보유지지된 복수의 피처리체(W)의 표면에 카본막을 성막하는 성막 공정을 행하도록 한 성막 장치의 운용 방법에 있어서, 처리 용기 내의 처리 공간에 접하는 석영제의 부재의 표면에 카본막의 밀착성을 향상시키는 밀착막(70)을 형성하는 밀착막 형성 공정을 행하도록 한다. 이에 따라, 처리 용기 내의 처리 공간에 접하는 석영제의 부재의 표면에 대한 카본막의 밀착성을 향상시켜 파티클의 발생을 억제한다. |
