マイクロアコースティック部品および製造方法

摘要

密閉封止を可能にするカバー（ＣＡＰ）を備えており、かつ例えばカバーの配置によって改善された音響特性を有しているマイクロアコースティック部品（ＭＡＣ）を提示する。この部品は、機能性音響領域（ＦＡＳ）と、内側の周縁領域（ＩＲＳ）と、外側の周縁領域（ＯＲＳ）とを含んでいる。カバー（ＣＡＰ）は、機能性音響領域（ＦＡＳ）を覆っており、かつ薄膜および載置面（ＲＳ）を有している。内側の周縁領域（ＩＲＳ）は、機能性音響領域（ＦＡＳ）と音響的に結合されており、かつ載置面（ＲＳ）は、少なくとも内側の周縁領域（ＩＲＳ）の一部の上に直接的に載っている。【選択図】 図１