ＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスの製造方法、ＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスからなる板状部材の製造方法、製造装置およびＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスの製造装置

摘要

ＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスの製造方法は、直接法によりターゲット上にＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスを製造する方法であって、ターゲットを予め加熱する第一の工程と、予め加熱されたターゲット上に所定の長さのＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスインゴットを成長させる第二の工程とを含み、第二の工程においてガラスインゴットの成長面の温度が所定の下限温度以上に維持されるように、第一の工程においてターゲットを加熱する。