Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Prüfung

摘要

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur interferometrischen Prüfung der Form und/oder Lage von mindestens zwei optischen Funktionsflächen (13, 14) durch Nutzung eines interferometrischen Prüfaufbaus umfassend ein Interferometer (9), ein strahlformendes optisches Element (1) und Justiermarken (15, 16, 17, 18) beschrieben. Durch das strahlformende optische Element (1) werden Justierwellenfronten und Prüfwellenfronten erzeugt, welche an den Justiermarken (15, 16, 17, 18) und/oder an den optischen Funktionsflächen (13, 14) transmittiert oder reflektiert werden und so Messwellenfronten erzeugt werden. Das Verfahren und die Vorrichtung ermöglichen ein Vermessen der Lage der optischen Funktionsflächen (13, 14) in Bezug zueinander und/oder in Bezug zu den Justiermarken (15, 16, 17, 18) sowie eine Bestimmung von Form- und/oder Lageabweichungen der optischen Funktionsflächen (13, 14) zu ihrer Sollgeometrie und/oder -position durch Auswertung der Messwellenfronten im Interferometer (9).