| 发明名称 |
無欠陥単結晶薄層 |
| 摘要 |
窒化ガリウム膜は無転位単結晶とすることができ、これは、基板の表面を照射すること、及び該表面を、転位で選択的にエッチング可能なエッチング液と接触させることによって製造することができる。【選択図】 図２ |
| 申请公布号 |
JP2016515991(A) |
申请公布日期 |
2016.06.02 |
| 申请号 |
JP20160500046 |
申请日期 |
2013.03.14 |
| 申请人 |
キング アブドラ ユニバーシティ オブ サイエンス アンド テクノロジー |
发明人 |
ブーン エス．オオイ;ラミ タレク エル アファンディ |
| 分类号 |
C30B29/38;H01L21/208;H01L21/306 |
主分类号 |
C30B29/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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