| 摘要 |
【課題】容易にレーザチャンバ内におけるレーザガスの部分ガス交換量を算出する。【解決手段】レーザゲイン媒質を励起することによりレーザ光を出射するレーザチャンバ内における前記レーザゲイン媒質を交換するガス交換工程と、前記ガス交換をした後、前記レーザチャンバにおいて所定のガス圧及び所定の充電電圧において発振させたレーザ光のパルスエネルギを測定する第１の測定工程と、前記第１の測定工程における前記所定のガス圧、前記所定の充電電圧、前記パルスエネルギに基づき、前記レーザチャンバにおけるガス圧及び充電電圧とレーザ光のパルスエネルギとの関係の近似式、または、相関関係を示すテーブルを算出して記憶する工程と、前記第１の測定工程を行なった後に、前記レーザチャンバにおいて発振されたレーザ光のパルスエネルギＥｒを測定する第２の測定工程と、前記算出された近似式またはテーブルに基づき、前記第２の測定工程におけるガス圧及び充電電圧の条件において、前記ガス交換をした直後に得られたであろうレーザ光のパルスエネルギＥｅｃを算出する工程と、前記パルスエネルギＥｅｃと前記パルスエネルギＥｒに基づき、ΔＥｄ＝Ｅｅｃ−Ｅｒより、パルスエネルギの低下量ΔＥｄを算出する工程と、前記パルスエネルギの低下量ΔＥｄに基づき前記レーザチャンバにおいて部分ガス交換を行なう際の部分ガス交換量Ｑを算出する工程と、を含んでもよい。 |
