Substrathaltevorrichtung, Substrattransportvorrichtung, Prozessiervorrichtung und Verfahren zum Prozessieren eines Substrats

摘要

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Substrathaltevorrichtung (100) bereitstellt, wobei diese Folgendes aufweisen kann: eine Trägerplatte (102) mit einer Aussparung (112) zum Aufnehmen eines ersten Halterahmens (132a) und eines zweiten Halterahmens (132b) zum Halten eines Substrats (120) mittels der zwei Halterahmen (132a, 132b) in der Aussparung (112), wobei sich die Aussparung (112) von einer Oberseite (102a) der Trägerplatte (102) zu einer Unterseite (102b) der Trägerplatte (102) durch die Trägerplatte (102) hindurch erstreckt; wobei der in die Aussparung (112) eingelegte erste Halterahmen (132a) abschnittsweise auf der Trägerplatte (102) aufliegt und wobei der zweite Halterahmen (132b) abschnittsweise auf dem ersten Halterahmen (132a) aufliegt, und wobei die zwei Halterahmen (132a, 132b) derart eingerichtet sind, dass zwischen den zwei in die Aussparung (132a, 132b) eingelegten Halterahmen (132a) ein Aufnahmeraum (130) zum Aufnehmen eines Randabschnitts des Substrats (120) bereitgestellt ist.