发明名称 |
一种氧化锌基p型材料的制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种氧化锌基p型材料的制备方法,属于半导体材料生长技术领域。该方法包括在基础层上制备渐变层;在渐变层上制备盖层;所述的基础层为Zn极性表面的ZnO材料,基础层的厚度大于300nm;所述的渐变层具有组分渐变的结构,组分渐变的结构自下而上为ZnO/Mg<sub>δ</sub>Zn<sub>1-δ</sub>O/Mg<sub>2δ</sub>Zn<sub>1-2δ</sub>O/…/Mg<sub>(n-1)δ</sub>Zn<sub>1-(n-1)δ</sub>O/Mg<sub>nδ</sub>Zn<sub>1-nδ</sub>O(δ→0,n为自然数),渐变层厚度不大于1μm;盖层的材料组分与渐变层上表面一致,为Mg<sub>nδ</sub>Zn<sub>1-nδ</sub>O(0.6≥nδ≥0.2),盖层的厚度不小于5nm。该方法制备的氧化锌基p型材料具有良好的温度稳定性。 |
申请公布号 |
CN103972311B |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201410182115.7 |
申请日期 |
2014.04.30 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
王双鹏;单崇新;张振中;李炳辉;李科学;申德振 |
分类号 |
H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0296(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
陶尊新 |
主权项 |
一种氧化锌基p型材料的制备方法,其特征在于,该方法包括:在基础层上制备渐变层;在所述的渐变层上制备盖层;所述的基础层为Zn极性表面的ZnO材料,所述的基础层的厚度大于300nm;所述的渐变层具有组分渐变的结构,组分渐变的结构自下而上为ZnO/Mg<sub>δ</sub>Zn<sub>1‑δ</sub>O/Mg<sub>2δ</sub>Zn<sub>1‑2δ</sub>O/…/Mg<sub>(n‑1)δ</sub>Zn<sub>1‑(n‑1)δ</sub>O/Mg<sub>nδ</sub>Zn<sub>1‑nδ</sub>O(δ→0,n为自然数),渐变层上表面Mg含量不小于20%且不高于60%,即Mg<sub>nδ</sub>Zn<sub>1‑nδ</sub>O中,0.6≥nδ≥0.2,所述渐变层厚度不大于1μm;所述的盖层的材料组分与渐变层上表面一致,为Mg<sub>nδ</sub>Zn<sub>1‑nδ</sub>O(0.6≥nδ≥0.2),盖层的厚度不小于5nm。 |
地址 |
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 |