一种超声测厚方法

摘要

本发明涉及现代工艺专用设备技术领域，具体涉及一种超声测厚方法。一种超声测厚方法，包括以下步骤：步骤1：测量数据层位置；步骤2：测量数据层厚度。本发明能够在不损坏被测器件的情况下，准确检测器件或器件中某材料层的厚度，还可以同时发现设备的内部缺陷，在产品质量控制等方面起到了很重要的作用。在超声测厚将方向具有很大的前景，在半导体封装行业发挥重要的作用。

主权项

一种超声测厚方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：测量数据层位置；首先把超声波换能器移动至器件上方，设置好前表面门1和数据门2，选择该器件物质铜的声速，选择超声波在材料中的传输速度，然后点击确定得到测定厚度的；步骤2：测量数据层厚度；首先把超声波换能器移动至器件上方，在超声扫描显微镜的示波器显示中，添加3个门：1个前表面门3、厚度数据门4和厚度数据门5，设置前表面门3、和厚度数据门1和厚度数据门2，对不同厚度的数据层进行不同颜色标定后，得到测定厚度的结果。