超高真空样品转移设备及转移方法

摘要

本发明提供一种超高真空样品转移设备及转移方法，所述设备包括：一样品腔、一过渡腔及一样品传递装置，所述样品腔维持超高真空环境，所述样品腔与所述过渡腔之间设置一第一阀门，以使所述样品腔与所述过渡腔连通或隔断，所述过渡腔与一对接装置连接，并可通过所述对接装置与一外部目标设备连接，所述样品传递装置可在所述样品腔及所述外部目标设备间传递样品。本发明的优点在于，过渡腔作为中间腔体，既可以处于超高真空状态，又可以与外界压强相同，使得在样品存放及转移过程中，无论转移设备是否与外部目标设备相连，样品始终处于超高真空的环境中，且能够避免不同设备间机械振动等噪声的互相干扰。

主权项

一种超高真空样品转移设备，其特征在于，包括：一样品腔、一过渡腔及一样品传递装置，所述样品腔维持超高真空环境，所述样品腔与所述过渡腔之间设置一第一阀门，以使所述样品腔与所述过渡腔连通或隔断，所述过渡腔与一对接装置连接，并可通过所述对接装置与一外部目标设备连接，所述样品传递装置可在所述样品腔及所述外部目标设备间传递样品。