一种薄膜太阳能电池背电极的制备方法

摘要

一种薄膜太阳能电池背电极的制备方法，包括磨边、一次清洗、激光一、二次清洗、预热、沉积、冷却一、激光二步骤，还包括步骤阻挡层丝网印刷，把模板固定在芯片表面进行阻挡层的印刷；烘干固化阻挡层；背电极印刷，芯片阻挡层烘干固化完成后，把模板固定在芯片表面进行背电极的印刷；烘干固化背电极；扫边；冷却二；反压修复；芯片测试；芯片清洗；焊接汇流条。采用丝网印刷制备背电极工艺替代薄膜电池生产使用的磁控溅射及激光三工艺，具有简化工艺流程、减少设备投入、降低生产成本的特点，且丝网印刷还可使透光的线宽大小根据需要设计，电池的外观结构也可根据需求设计，适用范围更广。

主权项

一种薄膜太阳能电池背电极的制备方法，包括磨边、一次清洗、激光一、二次清洗、预热、沉积、冷却一、激光二步骤，其特征在于，还包括步骤阻挡层丝网印刷，所述激光二步骤完成后的芯片被传送至阻挡层丝网印刷机处，先通过CCD及机械运动参考激光一进行芯片的定位，定位精度控制在20μm，定位完成后使用自动夹具固定芯片的位置，然后把模板固定在芯片表面进行阻挡层的印刷，线条位于激光二刻线旁靠近芯片负极侧，与P1刻线线间距为200‑270um，所述与P1刻线线间距为两线内侧距离，线条的宽度为100μm、直线度小于20μm、平行度小于30μm、膜层的厚度为10‑30μm，以减小死区面积及减小成本的情况下保证背电极良好的导电性能；烘干固化阻挡层，加热温度小于200℃；背电极印刷，芯片阻挡层烘干固化完成后，传送至背电极丝网印刷机处，通过CCD及机械运动参考激光一进行芯片的定位，定位精度控制在20μm，定位完成后使用自动夹具固定芯片的位置，然后把模板固定在芯片表面进行背电极的印刷，因为需要防止背电极进入阻挡层分割线内，所以背电极分割线要完全覆盖阻挡层分割线，初步工艺要求阻挡层分割线外边缘与背电极分割线内边缘相距不小于50μm、线条的宽度为200‑300μm、直线度小于20μm、平行度小于30μm、膜层的厚度为10‑30μm，以减小成本的情况下保证背电极良好的导电性能；烘干固化背电极，加热温度小于200℃；扫边；冷却二；反压修复；芯片测试；芯片清洗；焊接汇流条。