一种光刻板清洗方法

摘要

本发明涉及光刻板的清洗领域，具体涉及一种光刻板的清洗方法。一种光刻板清洗方法，包括以下步骤：进行40s的丙酮刷洗工艺；15s的IPA清洗；步骤3：30s的DI水清洗；45s吹干，进行干燥；经承载光刻板的卡盘停止旋转，取走光刻板，置于翻转机构上，将光刻板翻转后，将背面朝上的光刻板取走，并进行背面的清洗，并同时进行第二块光刻板的正面的清洗，依次进行所有的光刻板的清洗工作。本发明提出的光刻板清洗方法简单易操作，使用其清洁后，洁净度高，工艺效果理想，工艺参数稳定，自动化程度高，批量处理能力强，适合大规模推广使用。

主权项

一种光刻板清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：首先进行40s的丙酮刷洗工艺；步骤2：丙酮刷洗结束后，进行15s的IPA清洗；步骤3：30s的DI水清洗；步骤4: 45s吹干，进行干燥；步骤5：经承载光刻板的卡盘停止旋转，取走光刻板，置于翻转机构上，将光刻板翻转后，将背面朝上的光刻板取走，并进行背面的清洗，并同时进行第二块光刻板的正面的清洗，依次进行所有的光刻板的清洗工作。