基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法

摘要

基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜结构参数的确定方法，不能兼备高效率和准确性的问题。本发明的反演方法，步骤如下：先通过多层膜的光学常数和目标结构参数，计算多层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标掠入射X射线反射谱；然后通过步骤一得到的目标掠入射X射线反射谱，采用遗传算法反演多层膜的结构参数，再采用单纯形算法继续反演多层膜的结构参数，得到最终的多层膜的结构参数；其中，遗传算法的迭代次数为20-50次，单纯形算法的迭代次数为200-400次。该方法反演多层膜的结构参数精度高，速度较快。

主权项

基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、通过多层膜的光学常数和目标结构参数，计算多层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标掠入射X射线反射谱；步骤二、通过步骤一得到的目标掠入射X射线反射谱，采用遗传算法反演多层膜的结构参数，所述遗传算法的迭代次数为20‑50次；步骤三、依据步骤二得到的多层膜的结构参数，采用单纯形算法继续反演多层膜的结构参数，所述单纯形算法的迭代次数为200‑400次；所述步骤一至步骤三中，掠入射X射线反射谱皆通过递归算法获得。