用于EUV掩模的薄膜及其制造方法

摘要

本发明根据一些实施例提供了一种方法。从背侧研磨晶圆。将晶圆插入到通过框架保持架限定的开口内。通过临时层将框架保持架附接至载体。将晶圆的正侧附接至临时层。之后，从背侧蚀刻晶圆直到晶圆达到预定厚度。之后，将其中的框架保持架和晶圆从临时层和载体分离。本发明实施例涉及用于EUV掩模的薄膜及其制造方法。

主权项

一种方法，包括：从背侧研磨晶圆；将所述晶圆插入到通过框架保持架限定的开口内，其中，通过临时层将所述框架保持架附接至载体，其中，实施所述插入从而使得所述晶圆的正侧附接至所述临时层；之后，从背侧蚀刻所述晶圆直到所述晶圆达到预定厚度；以及之后，将其中的所述框架保持架和所述晶圆从所述临时层和所述载体分离。