| 发明名称 | 高效铜蚀刻剂 | ||
| 摘要 | 本发明属于金属蚀刻技术领域，涉及一种高效铜蚀刻剂，包含以铁计为0.3-4wt％的三价铁盐、以氮计为0.2-3wt％的铵盐、6-15wt％的有机碱和余量的去离子水。本发明通过铵盐与有机碱的复配维持溶液弱碱性，促进铜的浸蚀且不损伤氧化层；缓释氨与二价铜离子络合，促进反应平衡移动，带来铜蚀刻加速，防止铜腐蚀面变得粗糙。 | ||
| 申请公布号 | CN105624680A | 申请公布日期 | 2016.06.01 |
| 申请号 | CN201510990431.1 | 申请日期 | 2015.12.25 |
| 申请人 | 苏州博洋化学股份有限公司 | 发明人 | 王国祥 |
| 分类号 | C23F1/34(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种高效铜蚀刻剂，其特征在于：包含以铁计为0.3‑4wt％的三价铁盐、以氮计为0.2‑3wt％的铵盐、6‑15wt％的有机碱和余量的去离子水。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号 | ||