一种光伏型反射式液晶空间光调制器

摘要

本发明公开一种光伏型反射式液晶空间光调器，属于液晶器件领域。本发明包括：平行相对设置的第一玻璃基片1和第二玻璃基片10，第一玻璃基片1和第二玻璃基片10相向侧分别沉积有第一透明导电薄膜层2和第二透明导电薄膜层9从而形成第一导电玻璃和第二导电玻璃，第一导电玻璃与第二导电玻璃之间依次设有光敏层3、阻光层4、介质反射镜5、第一取向层6、位于两个间隔子之间的液晶层7及第二取向层8；所述光敏层3结构为p型掺杂的硅纳米线31和沉积于硅纳米线31阵列上的n型掺杂的氢化非晶硅薄膜32形成的复合纳米结构，所述硅纳米线31垂直于第一透明导电薄膜层2排列。本发明提高了液晶空间光调制器的图像分辨率，拓宽了液晶空间光调制器的光谱响应范围，提高了光响应度及灵敏度；此外其制备方法简单，容易操作，并且工艺参数容易控制。

主权项

一种光伏型反射式液晶空间光调制器，包括平行相对设置的第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)，第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)相向侧分别沉积有第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)从而形成第一导电玻璃和第二导电玻璃，第一导电玻璃与第二导电玻璃之间依次设有光敏层(3)、阻光层(4)、介质反射镜(5)、第一取向层(6)、液晶层(7)及第二取向层(8)；其特征在于，所述光敏层(3)结构为p型掺杂的硅纳米线(31)和沉积于硅纳米线(31)阵列上n型掺杂的氢化非晶硅薄膜(32)形成的复合纳米结构，所述硅纳米线(31)垂直于第一透明导电薄膜层(2)排列。