发明名称 用于照相平版印刷法的组合物和方法
摘要 提供施涂于光刻胶组合物上的外涂层组合物。所述组合物在浸渍平版印刷工艺中获得了特殊的适用性。
申请公布号 CN101962507B 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN200911000235.6 申请日期 2009.12.31
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 D·王;C·吴
分类号 C09D133/16(2006.01)I;B32B33/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 C09D133/16(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 樊云飞
主权项 一种适用于形成光刻胶层上的外涂层的组合物,该组合物包括:包含一个或多个酸性官能团的第一树脂;不同于所述第一树脂的第二树脂,且所述第二树脂与第一树脂不相容,该第二树脂包括作为聚合单元的下式M1、M2和M3的单体:<img file="FDA0000941752620000011.GIF" wi="1674" he="1242" />其中,R<sub>1</sub>独立地为氢或C1‑C6任选取代的烷基或氟代烷基;R<sub>2</sub>为任选取代的环烷基或支化烷基;R<sub>3</sub>为任选取代的亚烷基;R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>独立地为C1‑C4氟代烷基;R<sub>6</sub>为任选取代的C1‑C6亚烷基;R<sub>7</sub>为C1‑C4氟代烷基;和R<sub>8</sub>为酸不稳性离去基团;其中,所述第二树脂的表面能低于所述第一树脂的表面能;和溶剂混合物,其包含在旋涂过程中能有效实现组合物中所述第二树脂与其它聚合物的相分离的二烷基二醇单烷基醚。
地址 美国马萨诸塞州