主权项 |
一种传输线自动阻抗匹配系统,位于射频电源与等离子体腔室之间,其特征在于,所述系统包括:功率相位检测模块,用于检测出射频信号的幅值与相位信息,并通过A/D转换输出所述幅值与相位信息;位置监测模块,用于实时监测阻抗匹配网络的电容值信息,并通过A/D转换器发送所述电容值信息;控制模块,用于接收所述功率相位检测模块输出的幅值与相位信息,以及所述位置监测模块发送的电容值信息,并根据所述幅值与相位信息和电容值信息,生成控制信号,发送所述控制信号;直流电机驱动模块,用于接收所述控制信号,并根据所述控制信号生成不同的电压信号,发送所述电压信号;阻抗匹配执行模块,用于接收所述电压信号,并根据所述电压信号调整阻抗匹配网络,实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配;所述功率相位检测模块包括互感器、幅值相位检测器和A/D转换器;所述互感器用于检测出射频信号的电压值和电流值,所述幅值相位检测器用于检测电流信号和电压信号的相位差,通过A/D转换器输出至所述控制模块;所述控制模块根据所述功率相位检测模块输出的电压及电流的信号,计算得到等离子体腔室负载阻抗的状态和性质,通过预先设置的控制策略以及所述位置监测模块发送的当前可变真空电容的电容值,产生脉冲宽度调制控制信号,输出到所述直流电机驱动模块;所述直流电机驱动模块接收所述控制模块产生的脉冲宽度调制控制信号,根据所述脉冲宽度调制控制信号的占空比产生不同的电压信号,控制直流电机的转速,通过电压的正反调节直流电机的转向。 |