INTERCONNECT WIRES INCLUDING RELATIVELY LOW RESISTIVITY CORES

摘要

유전체 층 및 이를 형성하는 방법이 개시된다. 유전체 층 내에 개구가 정의되고 개구 내에 와이어가 퇴적되고, 와이어는 재킷 물질에 의해 둘러싸인 코어 물질을 포함하고, 재킷 물질은 제1 비저항(ρ1)을 나타내고, 코어 물질은 제2 비저항(ρ2)을 나타내고, ρ2는 ρ1보다 더 작다.