| 摘要 |
재료 가스의 분압(分壓)이 변동되어도, 혼합 가스에 있어서 재료 가스의 농도를 일정하게 유지할 수 있고, 응답성이 좋고, 버블링 시스템에 용이하게 장착하여 농도 제어를 행할 수 있는 재료 가스 농도 제어 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 재료(L)를 수용하는 탱크(13)와, 수용된 재료를 기화(氣化)시키는 캐리어 가스를 상기 탱크에 도입하는 도입관(11)과, 재료가 기화한 재료 가스 및 상기 캐리어 가스의 혼합 가스를 상기 탱크(13)로부터 도출하는 도출관(12)을 구비한 재료 기화 시스템(1)에 이용되는 것으로서, 상기 도출관(12)에 접속되어, 상기 혼합 가스를 흐르게 하기 위한 내부 유로(流路)(B1)를 가진 기체(基體; B)와; 상기 내부 유로(B1)를 흐르는 혼합 가스에 있어서 재료 가스의 농도를 측정하는 농도 측정부(CS)와; 상기 내부 유로(B1)에 있어서 상기 농도 측정부(CS)보다도 하류에 마련되어, 상기 농도 측정부(CS)에 의해 측정된 측정 농도를 조절하는 제1 밸브(23)를 구비하고 있고, 상기 농도 측정부(CS)와 상기 제1 밸브(23)는 상기 기체(B)에 장착하였다. |
