发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A MEMS CONSTRUCTION ELEMENT COMPRISING TWO CONNECTED SUBSTRATES AND CORRESPONDING CONSTRUCTION ELEMENT |
摘要 |
Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements mit zwei miteinander verbundenen Substraten und ein entsprechendes MEMS-Bauelement. Das Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines ersten Substrats (1; 1'; 2a; 2a') mit einer Vorderseite (V; V'; V"; V"') und einer Rückseite (R; R'; R"; R"'); Bilden einer Eionsenkung (P; P'; P"; P"') an der Vorderseite (V; V'; V"; V"') des ersten Substrats (1; 1'; 2a; 2a'), welche einen sockelförmigen Verbindungsbereich (B; B'; B"; B"') an der Vorderseite (V; V'; V"; V"') des ersten Substrats (1; 1'; 2a; 2a') definiert; und Direktbonden eines zweiten Substrats (2; 1 a) auf den Verbindungsbereich (B; B'; B"; B'"), so dass die Einsenkung (P; P'; P"; P"') einen Zwischenraum zwischen dem ersten Substrat (1; 1'; 2a; 2a') und dem zweiten Substrat (2; 1 a) bildet. |
申请公布号 |
EP3026009(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
EP20150185860 |
申请日期 |
2015.09.18 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HEUCK, FRIEDJOF;SCHMIDT, BENJAMIN;HOEPPNER, CHRISTIAN |
分类号 |
B81C1/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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