一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法

摘要

本发明公开了一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，属于太阳能电池制作工艺技术领域，制作工艺包括低温扩散、高温推进，其特征在于还包括二次低温扩散步骤，所述二次低温扩散步骤中的温度为700-800℃；在低温扩散和高温推进后，进行二次低温扩散，磷原子活动减弱，磷原子难以向硅片内部扩散，不会对方块电阻造成影响；在不改变结深的情况下，能够提高硅片表面的杂质浓度，有助于改善太阳能电池片的填充效果，提高太阳能电池片的光电转换效率，从而提高太阳能电池的性能。

主权项

一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其制作步骤包括硅片预处理——一次低温扩散——高温推进——出舟，其特征在于还包括二次低温扩散；所述二次低温扩散在高温推进步骤之后、出舟之前进行；所述二次低温扩散时的温度为700℃‑800℃；所述二次低温扩散时，温度稳定后，通入携磷源氮气、氧气和氮气进行恒定源扩散，扩散时间为6‑8min；所述携磷源氮气的流量为600‑800sccm，氧气的流量为600‑800sccm，氮气的流量为7‑8slm；所述高温推进时，停止通入携磷源氮气，将温度升至820‑850℃，通入氧气和氮气，进行推进，氧气的流量为900‑1200sccm，氮气的流量为7‑8slm，扩散时间为14‑16min。