荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法

摘要

本发明涉及荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。提供了能够使装置小型化并且即使为大面积样品也能够高效地进行测定的荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。具备：样品台2、X射线源、检测器、X台、Y台、θ台、以及遮蔽容器，一次X射线的照射位置P被设定为从可动中心O偏离，在不使θ台可动的状态下使X台和Y台可动时的一次X射线的能够照射的照射区域SA被设定为以通过可动中心的X方向的假想分割线B1和Y方向的假想分割线B2为界而将样品台的表面分为4个的分割区域A1~A4之中的配置有照射位置的一个，θ台能够使样品台按照每90°转动来切换成为照射区域的分割区域。

主权项

一种荧光X射线分析装置，其特征在于，具备：样品台，具有能够设置样品的载置面；X射线源，配置在对所述样品照射一次X射线的照射位置的正上方，对所述样品照射一次X射线；检测器，对从被照射所述一次X射线后的所述样品产生的荧光X射线进行检测；X台，能够在作为与所述载置面平行的一个方向的X方向上移动所述样品台；Y台，能够在与所述载置面平行且与X方向正交的Y方向上移动所述样品台；θ台，在所述载置面的中心具有旋转中心且能够绕与所述载置面正交的旋转轴转动所述样品台；以及遮蔽容器，至少收纳有所述样品台、所述X射线源、所述检测器、所述X台、所述Y台和所述θ台，所述一次X射线的照射位置被设定为从所述X台和所述Y台的可动中心偏离，所述一次X射线能够照射的照射区域被设定为以通过在不使所述θ台可动的状态下使所述X台和所述Y台可动时的所述可动中心的X方向的假想分割线和Y方向的假想分割线为界而将所述样品的表面分为4个的分割区域之中的配置有所述照射位置的一个区域，所述θ台能够使所述样品台按照每90°转动来切换成为所述照射区域的所述分割区域。