| 发明名称 | 具有同心或大致同心多边形槽图案的抛光垫 | ||
| 摘要 | 描述了具有同心或大致同心的多边形槽图案的抛光垫。还描述了制造具有同心或大致同心的多边形槽图案的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105619238A | 申请公布日期 | 2016.06.01 |
| 申请号 | CN201610091895.3 | 申请日期 | 2012.01.19 |
| 申请人 | 内克斯普拉纳公司 | 发明人 | W·C·阿里森;D·斯科特;A·W·辛普森 |
| 分类号 | B24B37/26(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/26(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 殷玲;吴鹏 |
| 主权项 | 一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：具有抛光表面和背面的抛光主体，所述抛光表面具有槽图案，所述槽图案包括垂直或大致垂直于所述抛光表面的半径的多个离散线段。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||