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一种低温工作的高灵敏度二氧化氮气敏材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)陶瓷片基底的清洗采用陶瓷片作为基底，将陶瓷片基底依次放入丙酮溶剂、无水乙醇中超声振荡15‑20min，除去表面有机物杂质；随后将陶瓷片基底放入去离子水中清洗，冲洗完成后放入无水乙醇中，并置于红外烘箱中烘干；(2)制备Pt的叉指电极将陶瓷片基底置于DPS‑Ⅲ型高真空对靶磁控溅射设备的真空室中，采用质量纯度99.99％的金属铂作为靶材，以质量纯度99.999％的氩气作为工作气体，溅射工作压强为2.0Pa，溅射功率80‑90W，溅射时间8‑10min，基底温度为室温，在氧化铝基底表面形成叉指铂电极；(3)制备反应溶液首先配置六氯化钨反应溶液，将1.19g六氯化钨溶于20ml正丙醇中，磁力搅拌至全部溶解，形成黄色的溶液；之后在黄色溶液中加入45ml去离子水，最终形成蓝色的六氯化钨溶液；(4)制备气敏传感器将步骤(2)中镀有铂电极的氧化铝基底置于内衬为聚四氟乙烯的不锈钢水热反应釜中，同时将步骤(3)制备的六氯化钨溶液也转移到反应釜中，密封，然后将反应釜置于恒温干燥箱中，在反应温度180‑210℃下在氧化铝基底表面合成氧化钨纳米片结构，反应时间为7h，反应完毕后，将反应釜自然冷却到室温；(5)清洗反应后氧化铝基底将步骤(4)中溶剂热反应后的氧化铝基底，反复经去离子水和无水乙醇浸泡清洗，然后在60‑80℃的真空干燥箱中干燥8‑10h；(6)气敏传感器元件的热处理将步骤(5)所制备的氧化钨纳米片结构气敏传感器元件置于马弗炉中进行热处理，用以增加氧化钨纳米片的结晶性。 |
