| 发明名称 | 反应腔室的观察窗组件及应用其的反应腔室 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种反应腔室的观察窗组件及应用其的反应腔室，在该反应腔室的腔室壁上设置有观察孔，观察窗组件包括透明玻璃和凹透镜，其中，透明玻璃设置在腔室壁上，且位于与观察孔相对的位置处；凹透镜设置在腔室壁上，且位于与观察孔相对的位置处。本发明提供的反应腔室的观察窗组件，其可以在相同的观察窗面积的条件下，扩大观察窗的视野，从而可以观察到腔室内所需观察的区域。 | ||
| 申请公布号 | CN105629417A | 申请公布日期 | 2016.06.01 |
| 申请号 | CN201410583803.4 | 申请日期 | 2014.10.27 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 李冰 |
| 分类号 | G02B7/02(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种反应腔室的观察窗组件，在所述反应腔室的腔室壁上设置有观察孔，所述观察窗组件包括透明玻璃，所述透明玻璃设置在所述腔室壁上，且位于与所述观察孔相对的位置处，其特征在于，所述观察窗组件还包括凹透镜，所述凹透镜设置在所述腔室壁上，且位于与所述观察孔相对的位置处。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||