用于减小布局依赖效应的系统和方法

摘要

一种方法包括：从半导体电路的第一布局提取第一网表，并且基于第一网表估计布局依赖效应数据。使用电子设计自动化工具，基于第一网表实施半导体电路的第一仿真，并且使用电子设计自动化工具，基于电路原理图实施半导体电路的第二仿真。计算至少一个布局依赖效应的权重和灵敏度，并且基于权重和灵敏度调节半导体电路的第一布局，以提供半导体电路的第二布局。将第二布局存储在非暂时存储介质中。本发明还提供了用于减小布局依赖效应的系统和方法。

主权项

一种制造半导体器件的方法，包括：从半导体电路的第一布局中提取第一网表；基于所述第一网表估计布局依赖效应数据；使用电子设计自动化工具，基于所述第一网表实施所述半导体电路的第一仿真；使用所述电子设计自动化工具，基于电路原理图实施所述半导体电路的第二仿真；基于所述第一仿真和所述第二仿真，计算至少一个布局依赖效应的影响，其中，计算所述至少一个布局依赖效应的影响包括：生成识别可归因于所述至少一个布局依赖效应的至少一个应力的等值线图；计算所述至少一个布局依赖效应的权重和灵敏度；基于所述权重和所述灵敏度调节所述半导体电路的所述第一布局，以提供所述半导体电路的第二布局；以及将所述第二布局存储在非暂时存储介质中。