用于液晶显示器制造工艺的包含伯烷烃醇胺的光刻胶剥离组合物

摘要

本发明公开了一种用于液晶显示器(LCD)制造工艺的光刻胶剥离组合物，其用作所有薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)制造工艺中通用的光刻胶剥离组合物。所述光刻胶剥离组合物包含：(a)1-20重量％的伯烷烃醇胺；(b)10-60重量％的醇；(c)0.1-50重量％的水；(d)5-50重量％的极性有机溶剂；以及(e)0.01-3重量％的阻蚀剂。所述剥离组合物具有在光刻工艺之后去除残留改性光刻胶的优良能力，适用于铝布线和铜布线，并用在有机膜形成工艺和正版标签(COA)工艺中。当所述剥离组合物用在由沸点为150℃或更高的醇和水组成的混合物中时，其防腐蚀能力提高并且预期寿命增加。

主权项

一种用于液晶显示器制造工艺的光刻胶剥离组合物，其特征在于，该组合物包含：(a)1‑20重量％的烷烃醇胺；(b)10‑60重量％的选自由乙二醇、辛醇、1‑庚醇、1‑癸醇、2‑庚醇和四氢糠醇所组成的组中的至少一种；(c)0.1‑50重量％的水；(d)5‑50重量％的极性有机溶剂；(e)0.01‑3重量％的阻蚀剂；以及(f)5‑50％的选自二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚和三乙二醇醚中的一种或多种；其中，所述烷烃醇胺为选自单乙醇胺、单异丙醇胺、2‑氨基‑2‑甲基‑1‑丙醇、2‑甲氨基乙醇所组成的组中的至少一种；其中，所述极性有机溶剂为选自由N‑甲基吡咯烷酮、环丁砜、二甲基亚砜、二甲基乙酰胺、单甲基甲酰胺所组成的组中的至少一种；以及其中，所述阻蚀剂包括C₅‑C₁₀杂环，该C₅‑C₁₀杂环含有选自N、O和S所组成的组中的至少一种杂原子，且该杂环的碳原子被巯基取代。