具有凹凸结构的基板的制造方法及使用该基板的有机EL元件的制造方法

摘要

用于制造具有用于散射光的不规则的凹凸表面的基板的方法包括如下步骤：制作具有不规则的凹凸表面的基板(100)；从相对于法线方向倾斜的方向对所制作的基板的凹凸表面(100a)照射检查光(122a)，并利用设置在凹凸表面的法线方向上的受光元件(124)检测从凹凸表面返回的光；利用处理装置(126)根据接收到的光强度判定所述凹凸表面的亮度不均。以高产量生产具备具有不规则的凹凸表面的衍射光栅基板的有机EL元件。

主权项

一种基板的制造方法，用于制造具有用于散射光的不规则的凹凸表面的基板，其中，包括如下步骤：制作所述具有不规则的凹凸表面的基板；在由隔着规定的距离配置于地板表面上的一对区块组成的平台上配置所述制作的基板，利用在所述平台的斜上方相对于所述平台中心对称的位置处配置的一对光源，从相对于该凹凸表面的法线方向倾斜的方向对所述基板的所述凹凸表面照射检查光，并利用在所述凹凸表面的法线方向上且在所述平台的中心上方隔着规定距离设置的拍摄元件检测该检查光的从所述凹凸表面返回的光；以及根据接收到的光强度，使用与所述拍摄元件连接的图像处理装置，根据由所述拍摄元件的每像素的输出求出的散射光强度的最大值及最小值，求出所述散射光强度的所述最大值/所述最小值作为所述凹凸表面的亮度不均，当求出的所述亮度不均在规定的范围内时，将所述制作的基板判定为合格，当所述亮度不均在规定的范围外时，将所述制作的基板判定为不合格；在照射所述检查光并检测所述返回的光时，将所述检查光向所述凹凸表面的入射角度固定在固定角度。