输送载片盘用抓取装置

摘要

本发明公开了一种用于化学气相沉积设备的载片盘输送的抓取装置，主要包括底座、导杆、回转臂、机械手。本发明的输送载片盘用抓取装置，通过周向均匀吊装载片盘方式使载片盘周向受力更为均匀，保证载片盘及载片盘中的晶圆片的平稳输送，另外通过反向运用摆动导杆机构实现机械手抓取和放置动作，结构简单而可靠，较人工操作更为平稳和安全，提高生产效率。

主权项

一种输送载片盘用抓取装置，主要包括底座（1）、导杆（2）、回转臂（3）、机械手（4），导杆（2）固定安装在底座（1）上，回转臂（3）安装在导杆（2）上，回转臂（3）末端安装有实现载片盘（5）抓取和放置的机械手（4），回转臂（3）可以通过外力驱动沿导杆（2）旋转和升降，以配合机械手（4）将载片盘（5）输送至设定位置，其特征在于所述机械手（4）主要包括摆动盘（6）、固定盘（7）、中心轴（8）、滑动槽（9）、滑动销（10）、摆杆（11）、转动孔（12）、抓取爪（13）、驱动固定座（15）、驱动臂（16），机械手（4）通过中心轴（8）吊装在回转臂（3）上，中心轴（8）和固定盘（7）固定连接，摆动盘（6）和固定盘（7）叠加安装，摆动盘（6）可以绕中心轴（8）转动，在摆动盘（6）上沿径向方向设置有滑动槽（9），滑动槽（9）通过滑动销（10）和摆杆（11）一端连接，滑动销（10）可以沿滑动槽（9）滑动，摆杆（11）可以随滑动销（10）沿滑动槽（9）滑动并可以绕滑动销（10）转动，摆杆（11）另一端与抓取爪（13）固定连接，抓取爪（13）穿过设置在固定盘（7）上的转动孔（12），抓取爪（13）可以绕转动孔（12）转动，抓取爪（13）底端设置有盘托（14）用于支撑载片盘（5），固定盘（7）上设置有驱动固定座（15），驱动固定座（15）上安装的驱动臂（16）可以伸缩，以驱动摆动盘（6）实现摆动盘（6）相对固定盘（7）绕中心轴（8）的来回摆动动作，所述机械手（4）相应位置中至少在周向上均匀设置3组相同的由滑动槽（9）、滑动销（10）、摆杆（11）、转动孔（12）、抓取爪（13）及盘托（14）的结构。