基于平板波导共振耦合的光传感器、调制器及其制作方法

摘要

本发明提供了一种基于平板波导共振耦合的光传感器、调制器及其制作方法。具体来说，光传感器包括光纤传感器和光波导型传感器，光调制器包括光纤调制器和光波导型调制器。其中，该方法包括：将单模光纤的两端固定，并使所述单模光纤呈拉直状态；在所述单模光纤的一侧沿光纤传输方向上，通过高深宽比结构加工方法沿预设的路径对所述单模光纤的包层进行处理，以去除一部分所述包层形成预设形状的沟槽；在所述沟槽中填充敏感物质，以使所述敏感物质与所述光纤的纤芯形成平板波导共振耦合结构。该发明能够避免长时间的在线监测，简化膜厚控制工艺，且沟槽形状及宽度控制灵活，光纤传感器、调制器结构简单、紧凑且灵敏度高。

主权项

一种基于平板波导共振耦合的光传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：将单模光纤的两端固定，并使所述单模光纤呈拉直状态；在所述单模光纤的一侧沿光纤传输方向上，通过高深宽比结构加工方法沿预设的路径对所述单模光纤的包层进行处理，以去除一部分所述包层形成预设形状的沟槽；在所述沟槽中填充敏感物质，以使所述敏感物质与所述光纤的纤芯形成平板波导共振耦合结构。