用于容器内部涂覆的空心阴极气体喷枪

摘要

本发明涉及用于容器内部涂覆的空心阴极气体喷枪，借助等离子体处理的用于涂覆如塑料瓶的容器的装置（100），其包括：至少一高频源（106）、位于待处理的容器（102）外侧的至少一外电极（103）、以及至少一个至少部分导电的气体喷枪（101），气体喷枪用于将加工气体供给至容器，装置被配置为将高频源的高频施加至至少一外电极或至少一气体喷枪，其特征是，至少一气体喷枪配置为至少部分或整体作为具有至少一内部空心空间的空心阴极，其中空心阴极的至少一空心空间流体连接至待处理的容器的内部并且流体连接至气体喷枪的例如通过横向孔或凹部（113）和/或轴向孔或凹部（114）供给加工气体的部分，并且能在空心阴极的内部在至少一空心空间中生成等离子体。

主权项

借助等离子体处理的用于涂覆容器的装置(100)，所述装置包括：至少一个高频源(106)，位于待处理的容器(102)的外侧的至少一个外电极(103)，以及至少一个至少部分导电的气体喷枪(101)，所述气体喷枪用于将加工气体供给至容器(102)，所述装置被配置为将所述高频源(106)的高频施加至所述至少一个外电极(103)或所述至少一个气体喷枪(101)，其特征在于，所述至少一个气体喷枪(101)被配置为至少部分或整体作为具有至少一个内部空心空间的空心阴极，其中所述空心阴极的至少一个空心空间流体连接至所述待处理的容器(102)的内部并且流体连接至所述气体喷枪(101)的通过横向的孔或凹部(113)和/或轴向的孔或凹部(114)供给所述加工气体的部分，并且其特征在于，能够在空心阴极的内部在所述至少一个空心空间中生成等离子体，其中压强P与内部空心空间直径d的乘积在p*d＝1–10hPa*cm范围内，并且其中所述气体喷枪(101)的未被配置为空心阴极的部分设置有孔或凹部，这些孔或凹部布置在侧面上，具有小于0.5mm的平均孔直径或凹部直径，经由这些孔或凹部，所述加工气体能够被供给至所述容器的内部。