一种碳化硅微粉过滤装置

摘要

本发明公开了一种碳化硅微粉过滤装置，用于真空泵抽气过程中碳化硅微粉的过滤，包括：过滤筒，用于给碳化硅微粉的过滤提供空间；进气口，设置于过滤筒侧壁下方，用于待过滤尾气的输入；出气管，设置于过滤筒的内部，出气管上端一直延伸至过滤筒的顶板处且与过滤筒的顶板之间设置有间隙，出气管下端贯穿过滤筒的底板与外设的真空泵连接，出气管用于已过滤尾气的输出；螺旋叶片，设置于出气管的外壁上且螺旋叶片呈层状布置，用于碳化硅微粉的吸附；挥发液油，设置于过滤筒的内部，用于给碳化硅微粉的吸附提供粘力。该碳化硅微粉过滤装置既能有效实现碳化硅微粉的过滤，确保真空泵的正常运行，又不会影响真空泵正常的抽气速率。

主权项

一种碳化硅微粉过滤装置，用于真空泵抽气过程中碳化硅微粉的过滤，其特征在于，包括：过滤筒，用于给碳化硅微粉的过滤提供空间；进气口，设置于所述过滤筒侧壁下方，用于待过滤尾气的输入；出气管，设置于所述过滤筒的内部，所述出气管上端一直延伸至所述过滤筒的顶板处且与所述过滤筒的顶板之间设置有间隙，所述出气管下端贯穿所述过滤筒的底板与外设的真空泵连接，所述出气管用于已过滤尾气的输出；螺旋叶片，设置于所述出气管的外壁上且所述螺旋叶片呈层状布置，用于碳化硅微粉的吸附；挥发液油，设置于所述过滤筒的内部，用于给碳化硅微粉的吸附提供粘力。