| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING TRANSPARENT ELECTRICALLY-CONDUCTIVE FILM |
| 摘要 |
저저항화된 투명 도전층을 보다 고속으로 성막 가능한 투명 도전성 필름의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, 기재 필름 상에 인듐-주석 복합 산화물을 함유하는 타깃으로부터 투명 도전층을 스퍼터법에 의해 형성하는 공정을 포함하는 투명 도전성 필름의 제조 방법으로서, 상기 스퍼터법은, 스퍼터 성막 장치에 있어서의 1 개의 스퍼터실당 2 개 구비된 상기 타깃에 각각 DC 전원을 접속하여 실시하는 DC 듀얼 타깃 스퍼터법이다. |
| 申请公布号 |
KR20160061961(A) |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
| 申请号 |
KR20167001691 |
申请日期 |
2014.09.24 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORPORATION |
发明人 |
NASHIKI TOMOTAKE;KATO HISATO;BEPPU HIROSHI;KAJIHARA DAISUKE;TAKAMI YOSHIHITO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/08;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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