发明名称 |
一种用于小空间的等离子体产生装置 |
摘要 |
本发明属于等离子体产生技术领域,具体涉及一种用于小空间的等离子体产生装置,该装置包括容器,电极和磁体,容器是由不含卤族元素的非金属材料制成的空腔结构,电极置于容器内,与外部电源连接,磁体对称布置在容器内,容器内充入放电气体。当外部电源为电极供电时,在电极之间形成强电场,强电场使放电气体电离,在容器内形成等离子体;本发明可以应用于小尺度空间,能产生稳定、分布均匀和高密度的等离子体,放电效率更高。 |
申请公布号 |
CN105636329A |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201410601089.7 |
申请日期 |
2014.10.30 |
申请人 |
北京航天长征飞行器研究所;中国运载火箭技术研究院 |
发明人 |
张生俊;刘佳琪;孟刚;刘鑫;王明亮;王伟东;李亚男;邬润辉;艾夏;梁伟;王同权;刘生东;张陆萍 |
分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
代理机构 |
核工业专利中心 11007 |
代理人 |
吕岩甲 |
主权项 |
一种用于小空间的等离子体产生装置,其特征在于:该装置包括容器(1),电极(2)和磁体(3),电极(2)置于容器(1)内,与外部电源连接,磁体(3)对称布置在容器(1)内,容器(1)内充入放电气体。 |
地址 |
100076 北京市丰台区南大红门路1号 |