发明名称 |
一种具有AlN量子点的氮化物发光二极管及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种具有AlN量子点的氮化物发光二极管及其制作方法,包括:衬底,缓冲层,N型氮化物,具有V-pits的多量子阱,P型氮化物,无Mg掺杂的AlN量子点,具有高Mg掺杂的P型氮化物以及P型接触层,其中在P型氮化物和具有高Mg掺杂的P型氮化物之间插入AlN量子点层,量子点通过高电阻的AlN量子点的多步弛豫沉积方法,均匀地堵住位错线的终端,防止电流流经位错线区域,提高反向电压、降低漏电、改善电流的横向扩展和改善ESD。 |
申请公布号 |
CN105633230A |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201610197676.3 |
申请日期 |
2016.03.31 |
申请人 |
厦门市三安光电科技有限公司 |
发明人 |
郑锦坚;钟志白;杜伟华;李志明;杨焕荣;廖树涛;伍明跃;周启伦;林峰;李水清;康俊勇 |
分类号 |
H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/06(2010.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种具有AlN量子点的氮化物发光二极管,包括:衬底,缓冲层,N型氮化物,具有V‑pits的多量子阱,P型氮化物,无Mg掺杂的AlN量子点,具有高Mg掺杂的P型氮化物以及P型接触层,其特征在于:在P型氮化物和具有高Mg掺杂的P型氮化物之间插入AlN量子点层,量子点通过高电阻的AlN量子点的多步弛豫沉积方法,均匀地堵住位错线的终端,防止电流流经位错线区域,提高反向电压、降低漏电、改善电流的横向扩展和改善ESD。 |
地址 |
361009 福建省厦门市思明区吕岭路1721-1725号 |