| 主权项 |
一种自动对焦装置，包括：光源(110)；具有第一端口、第二端口和第三端口的光耦合器(130)；其中在所述光耦合器中的光信号基本上仅从第一端口至第二端口并且从第二端口至第三端口传播；其中所述光耦合器在第一端口耦合至光源；光准直器(150)，其用于引导光从所述光耦合器的第二端口输出，然后穿过分色镜(170)和显微镜物镜(160)至样本(195)，其中样本(195)设置在由可调显微镜平台(198)支撑的衬底上；用于将光聚焦至沿轴线的多个焦点上的扫描工具(270)；用于转换光信号为光强信号的光电二极管探测器(240)，所述光信号包括在沿轴线的多个焦点上的衬底的光反射，其中所述光信号通过所述显微镜物镜(160)捕获、穿过分色镜(170)、光准直器(150)、进入光耦合器(130)的第二端口、并从光耦合器的第三端口输出，从而发送至光电二极管探测器(240)；用于储存信号模板的存储设备；以及微处理器(180)，该微处理器用于通过光强信号和信号模板的互相关以检测光强信号的峰值；其中，所述微处理器(180)生成命令，以基于检测光强信号中的峰值位置和参考信号中的峰值位置的差异，沿轴线移动可调显微镜平台(198)的位置。 |
