靶材组件的制造方法

摘要

本发明提供了一种靶材组件的制造方法，在提供铜合金后，在对铜合金进行固溶处理获得铜合金固溶体；并在铜合金固溶体冷却并经定型处理获得背板坯料后，将钛靶材的焊接面与背板坯料的焊接面贴合；之后对所述背板坯料和靶材坯料进行热等静压焊接处理，以形成靶材组件，在焊接处理过程中，所述背板坯料同时完成时效处理。即，背板坯料与靶材坯料的热等静压焊接工艺，与铜合金固溶体的时效处理步骤同时完成，在获得高硬度的铜合金背板的同时，简化了靶材组件的制造方法的工艺步骤。

主权项

一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供铜合金坯料；对所述铜合金坯料进行固溶处理，获得铜合金固溶体；对所述铜合金固溶体进行定型处理，获得背板坯料，所述背板坯料包括焊接面；提供靶材坯料，所述靶材坯料包括焊接面；将所述靶材坯料的焊接面和所述背板坯料的焊接面贴合；对所述背板坯料和靶材坯料进行热等静压焊接处理，形成靶材组件，其中，所述焊接处理过程中所述背板坯料同时完成时效处理。