发明名称 光学モニタ及びそれを用いた真空蒸着装置
摘要
申请公布号 JP5927652(B2) 申请公布日期 2016.06.01
申请号 JP20120157691 申请日期 2012.07.13
申请人 株式会社昭和真空 发明人 簗瀬 健介;藤原 隆行;高橋 三千夫
分类号 C23C14/54;C23C14/24 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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